[发明专利]一种高精度膜厚测量系统及方法在审
| 申请号： | 202011474312.8 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112680709A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 夏禹;曹永盛;郭杏元 | 申请（专利权）人： | 光芯薄膜（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;C23C14/24;G01B17/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种高精度膜厚测量系统及方法，本发明的膜厚仪、振荡包、编码器、滑环安装于真空腔体外工件架的旋转轴顶部，晶片探头、石英晶体和温度传感器安装于真空腔体内工件架表面，晶片探头、温度传感器信号通过真空馈入法兰引出，工件架的旋转轴带动上述部件水平旋转；所述膜厚仪根据编码器数据选择石英晶体的最佳测试位置，所述膜厚仪根据温度传感器数据对石英晶体频率进行温度校准，所述膜厚仪利用校准后频率准确计算真实膜厚，通过滑环实现膜厚仪与腔体外静态工控机的数据传输。实现旋转镀膜时膜厚的准确测量，有效消除温度影响，确保运动与非运动部件之间的数据可靠传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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