[发明专利]一种热光器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202011460359.9 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112526772A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 杨妍;唐波;张鹏;李彬;刘若男;李志华;谢玲;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热光器件及其制造方法，涉及热光器件制造技术领域，用于降低加热电极为光波导进行加热时的加热功耗，提高热光器件的工作性能。该热光器件的制造方法包括：提供一基底，基底包括衬底、以及形成在衬底上的光波导和加热电极；加热电极位于光波导的上方；在衬底内开设贯穿衬底的开口槽，开口槽位于光波导的下方；在开口槽内填充低热损耗材料；低热损耗材料的导热系数小于衬底的导热系数；在衬底上形成悬臂梁结构；悬臂梁结构位于光波导的一侧，用于将光信号耦合至或耦合出光波导。本发明还提供了一种热光器件，该热光器件由所述热光器件的制造方法制造形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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