[发明专利]一种防止OLED材料受热老化的加热装置在审

专利信息
申请号: 202011457539.1 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN112575293A 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 孙浩;李牧词;茆胜 申请(专利权)人: 深圳市智联汇网络系统企业(有限合伙)
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
代理公司: 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 代理人: 刘少伟
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明为涉及一种防止OLED材料受热老化的加热装置,包括:坩埚主体、加热模块、冷却模块、动力机构,在所述坩埚主体填充有物料,包括位于所述坩埚主体的上部的蒸发区和位于所述坩埚主体的下部的冷却区;动力机构设置所述的坩埚主体的底部,用以推动所述物料在坩埚主体内移动。有益效果是:通过在加热源中增加水冷组件,有效的防止了加热源内OLED材料长时间受热老化的问题,可大幅提升单次加入OLED材料的量,从而实现更长的加料周期,显著提高生产效率。
搜索关键词: 一种 防止 oled 材料 受热 老化 加热 装置
【主权项】:
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