[发明专利]一种防止OLED材料受热老化的加热装置在审
| 申请号： | 202011457539.1 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112575293A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 孙浩;李牧词;茆胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市智联汇网络系统企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 oled 材料 受热 老化 加热 装置 | ||
1.一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，包括：
坩埚主体，在所述坩埚主体填充有物料，包括位于所述坩埚主体的上部的蒸发区和位于所述坩埚主体的下部的冷却区；
加热模块，设置在所述蒸发区的外侧；
冷却模块，设置在所述冷却区的外侧；
动力机构，设置所述的坩埚主体的底部，用以推动所述物料在坩埚主体内移动。
2.根据权利要求1所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述加热模块包括由环绕在所述坩埚主体外侧的线圈组成的涡流加热装置，所述线圈用于通入交变电流，对所述坩埚主体的上部进行加热，以实现物料的熔化、蒸发。
3.根据权利要求2所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述交变电流的频率为5Hz-500000Hz。
4.根据权利要求1所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述冷却模块包括由环绕在所述坩埚主体外侧的冷却管组成的水冷组件，所述冷却管内填充有冷却液，在所述冷却液的循环作用下，使得所述物料保持低温状态，不会因长时间受热而老化。
5.根据权利要求4所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述冷却液为沸点稳定的液体介质。
6.根据权利要求1所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述动力机构包括设置在所述坩埚主体底部的活塞，以及推动所述活塞在坩埚主体内移动的推杆。
7.根据权利要求6所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述动力机构还包括驱动所述推杆的驱动电机。
8.根据权利要求1所述的一种防止OLED材料受热老化的加热装置，其特征在于，所述蒸发区的横截面面积小于所述冷却区的横截面面积。
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