[发明专利]一种防止OLED材料受热老化的加热装置在审
申请号: | 202011457539.1 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112575293A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 孙浩;李牧词;茆胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市智联汇网络系统企业(有限合伙) |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
代理公司: | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人: | 刘少伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 oled 材料 受热 老化 加热 装置 | ||
本发明为涉及一种防止OLED材料受热老化的加热装置,包括:坩埚主体、加热模块、冷却模块、动力机构,在所述坩埚主体填充有物料,包括位于所述坩埚主体的上部的蒸发区和位于所述坩埚主体的下部的冷却区;动力机构设置所述的坩埚主体的底部,用以推动所述物料在坩埚主体内移动。有益效果是:通过在加热源中增加水冷组件,有效的防止了加热源内OLED材料长时间受热老化的问题,可大幅提升单次加入OLED材料的量,从而实现更长的加料周期,显著提高生产效率。
技术领域
本发明涉及加热装置技术领域,尤其是涉及一种防止OLED材料受热老化的加热装置。
背景技术
OLED有机发光二极管,是一种利用多层有机薄膜结构产生电致发光的器件。按照OLED有机发光材料可分为小分子材料器件和高分子材料器件,这两种器件的主要差别在制作工艺上,小分子器件主要采用的是真空蒸镀工艺,高分子器件采用的是旋转涂覆或者是喷涂印刷工艺。目前原材料和器件制造工艺较为成熟的是通过真空蒸镀工艺制备的小分子OLED材料器件。
一方面,OLED有机发光材料具有活性高、易氧化的特点,一旦长时间于空气接触就会和空气中的水汽和氧气发生反应,导致发光效率降低、电压升高、寿命缩短等一系列问题,因此我们希望尽量减少OLED材料与空气接触的时间。另一方面,OLED真空蒸镀工艺需要极高的真空度来确保OLED薄膜的成膜质量,每次开腔室加料后,需要等待较长的抽真空时间,镀膜腔室才能恢复满足工艺要求的真空状态。
因为基于上述两个原因,在生产过程中,我们希望每次加料时尽可能多的在坩埚中添加OLED材料,以延长加料周期,减少加料的频次,减少OLED 材料与空气接触的时间,避免OLED材料发生氧化,减少维护时间和抽真空的时间,提高设备生产效率。
但是,如果一次在加热源中加入过多的OLED材料,又不能及时使用完, OLED材料长时间处于高温状态下容易发生分解和变性,导致材料纯度降低和性能下降。该问题大大限制了我们每次添加OLED材料的量,使得我们无法通过一次加入尽可能多的OLED材料的办法,来延长加料周期和提高生产效率。
发明内容
本发明提供一种防止OLED材料受热老化的加热装置,可防止OLED材料在工艺过程中出现长时间受热后老化的问题,通过一次加入更多的OLED材料,实现更长的加料周期,显著提高生产效率。
本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
一种防止OLED材料受热老化的加热装置,包括:
坩埚主体,在所述坩埚主体填充有物料,包括位于所述坩埚主体的上部的蒸发区和位于所述坩埚主体的下部的冷却区;
加热模块,设置在所述蒸发区的外侧;
冷却模块,设置在所述冷却区的外侧;
动力机构,设置所述的坩埚主体的底部,用以推动所述物料在坩埚主体内移动。
作为优选的技术方案,所述加热模块包括由环绕在所述坩埚主体外侧的线圈组成的涡流加热装置,所述线圈用于通入交变电流,对所述坩埚主体的上部进行加热,以实现物料的熔化、蒸发。
作为优选的技术方案,所述交变电流的频率为5Hz-500000Hz。
作为优选的技术方案,所述冷却模块包括由环绕在所述坩埚主体外侧的冷却管组成的水冷组件,所述冷却管内填充有冷却液,在所述冷却液的循环作用下,使得所述物料保持低温状态,不会因长时间受热而老化。
作为优选的技术方案,所述冷却液为沸点稳定的液体介质,例如水或油。
作为优选的技术方案,所述动力机构包括设置在所述坩埚主体底部的活塞,以及推动所述活塞在坩埚主体内移动的推杆。
作为优选的技术方案,所述动力机构还包括驱动所述推杆的驱动电机。
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