[发明专利]蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备在审
| 申请号： | 202011454479.8 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112981328A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 金振杰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 翟洪玲;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备。蒸发源和沉积设备可包括：储存部，包括坩埚以及将由所述坩埚形成的空间划分为多个内部空间的分隔件；液位控制部，设置在所述多个内部空间中的每个中，并且将所述多个内部空间中的每个划分为多个子空间，所述液位控制部在平面图中具有格子结构；喷嘴部，所述喷嘴部设置在所述储存部上且用于喷射所述沉积源材料；壳体，所述储存部和所述喷嘴部设置在所述壳体中；以及加热部，所述加热部设置在所述储存部与所述壳体之间且用于加热所述坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 以及 包括 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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