[发明专利]晶圆研磨机的运动控制装置在审
| 申请号： | 202011445540.2 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112692720A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 乔金彪 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/10;B24B37/34;B24B7/22;B24B57/02;B24B47/12;B08B1/00;B08B1/02;B08B1/04 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 潘志渊 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了晶圆研磨机的运动控制装置。本发明，包括支架，所述支架的外壁上安装有控制器，所述支架的顶部安装有第四电机，所述第四电机的输出端安装有转盘，所述支架的顶部安装有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的底部安装有研磨室。本发明，通过滚珠丝杠和研磨室的配合，使得本装置能够将研磨头进行升降和对晶圆的研磨，通过第四电机和转盘的配合，使得本装置能够将放置在的转盘上的晶圆进行研磨，通过升降室和刷头的设置，使得本装置在研磨完成后，能够对研磨完成的晶圆进行清洁和对转盘进行清洁，便于本装置的下次使用，通过其内部的零件以及其之间的配合，使得本装置能够对晶圆和研磨室的运动轨迹进行控制的同时进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机 运动 控制 装置 | ||
【主权项】：
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