[发明专利]晶圆研磨机的运动控制装置

权利要求书

1.晶圆研磨机的运动控制装置，包括支架（1），其特征在于：所述支架（1）的外壁上安装有控制器（2），所述支架（1）的顶部安装有第四电机（17），所述第四电机（17）的输出端安装有转盘（3），所述支架（1）的顶部安装有滚珠丝杠（4），所述滚珠丝杠（4）的底部安装有研磨室（5），所述研磨室（5）的内壁安装有第一电机（9），所述第一电机（9）的输出端安装有第一螺纹杆（10），所述第一螺纹杆（10）的外壁上螺纹连接有框支架（16），所述框支架（16）的内壁安装有第二电机（11），所述第二电机（11）的输出端安装有研磨头（6），所述支架（1）上安装有升降室（7），所述升降室（7）的内部安装有第三电机（12），所述第三电机（12）的输出端安装有第二螺纹杆（13），所述第二螺纹杆（13）的外壁上螺纹连接有连接板（14），所述连接板（14）的一端安装有刷头（8），所述连接板（14）的内部安装有弹簧块（15），所述控制器（2）和滚珠丝杠（4）、第一电机（9）、第二电机（11）、第三电机（12）以及第四电机（17）电性连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆研磨机的运动控制装置，其特征在于：所述刷头（8）的一端通过转轴和连接板（14）转动连接，所述刷头（8）外表面开设有和弹簧块（15）尺寸相适配的凹槽。

3.根据权利要求1所述的晶圆研磨机的运动控制装置，其特征在于：所述刷头（8）的安装位置位于转盘（3）的右上方，所述刷头（8）的外壁上安装有吸水层。

4.根据权利要求1所述的晶圆研磨机的运动控制装置，其特征在于：所述第一螺纹杆（10）通过转轴和研磨室（5）的内壁相连接，所述第二螺纹杆（13）通过转轴和升降室（7）的内壁相连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆研磨机的运动控制装置，其特征在于：所述研磨室（5）的内壁安装有滑杆，且该滑杆贯穿框支架（16）。

6.根据权利要求1所述的晶圆研磨机的运动控制装置，其特征在于：所述支架（1）的顶部安装有两个支撑板，所述滚珠丝杠（4）的两端与支架顶部设置支撑板的侧壁相连接。