[发明专利]一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法有效
| 申请号： | 202011418600.1 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN112578148B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 魏勇;吕康 | 申请（专利权）人： | 北京中弘泰科科技有限公司;魏勇;吕康 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京卓爱普专利代理事务所(特殊普通合伙) 11920 | 代理人： | 王玉松 |
| 地址： | 100020 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及惯性传感器技术领域，特别涉及一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法。本发明提供一种新的MEMS加速度计的高精度温度补偿方法，该MEMS加速度计的高精度温度补偿方法对MEMS加速度计在温度变化时造成的偏差进行了很好的补偿，有效的提高了测量精度，更加符合工程应用；不需要价格高昂的温控转台，也不需要非常精准的位置，可以进行批量作业，且能够实现全温全位置的补偿，有效提高补偿后的精度，间接实现了对标度因数的标定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度计 高精度 温度 补偿 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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