[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202011404889.1 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112492482A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木宽充;林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；支撑载体包括支撑固定防尘膜的固定部以及设置在固定部中心位置的通孔；在固定部上设置有自固定部凸出并穿过防尘膜的定位部，在微型麦克风的制造过程中，定位部与防尘膜一侧的基板接触定位。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性，防止其在制造过程中脱落或者翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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