[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

说明书

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；支撑载体包括支撑固定防尘膜的固定部以及设置在固定部中心位置的通孔；在固定部上设置有自固定部凸出并穿过防尘膜的定位部，在微型麦克风的制造过程中，定位部与防尘膜一侧的基板接触定位。利用上述发明能够确保防尘膜在制造过程中与基板之间的密着性，防止其在制造过程中脱落或者翘曲。

技术领域

本发明涉及声学技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该防尘装置的MEMS麦克风。

背景技术

现有的防尘装置在制造过程中，通常是在基板上形成牺牲层，然后在牺牲成上形成防尘装置，当基板与牺牲层均使用有机材料的情况下，如果防尘装置的支撑载体也使用有机层形式，则在形成支撑载体的光刻处理，牺牲层上的有机材料也会被溶解，进而导致牺牲层和防尘装置的防尘膜之间的接触面积变小，发生防尘装置从基板上脱落的风险。

此外，在对载体层的有机材料进行热固化处理中，因载体层与防尘膜之间的热膨胀率存在差异，也会导致载体层一侧发生翘曲，这种情况也会影响牺牲层与防尘膜之间的有效接触面积，同样会导致防尘装置从牺牲层剥离，甚至脱落的不良情况。

因此，目前亟需一种防尘装置，能够在制造过程中确保防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积，防止防尘装置在制造过程中发生翘曲或者脱落。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，以解决目前防尘装置在制造过程中，防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积会受各种因素的影响而减小，导致装置脱落等不良问题。

本发明提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；支撑载体包括支撑固定防尘膜的固定部以及设置在固定部中心位置的通孔；在固定部上设置有自固定部凸出并穿过防尘膜的定位部，在微型麦克风的制造过程中，定位部与防尘膜一侧的基板接触定位。

此外，优选的技术方案是，定位部设置有至少一个，且定位部关于防尘膜的中心呈均匀或对称分布。

此外，优选的技术方案是，在平行于防尘膜的方向上，定位部的截面形状为圆形、弧形、眉型、长方形、三角形或者弧形。

此外，优选的技术方案是，定位部设置有一个，且定位部为包围防尘膜的连续结构。

此外，优选的技术方案是，定位部的形状为圆形、长方形或者具有至少五个边的规则多边形。

此外，优选的技术方案是，在微型麦克风的制造过程中，在基板上设置牺牲层，防尘膜形成在牺牲层远离基板的一侧；支撑载体设置在防尘膜远离牺牲层的一侧；并且，定位部穿过牺牲层后与基板固定连接。

此外，优选的技术方案是，定位部的高度不小于防尘膜与牺牲层的厚度之和。

此外，优选的技术方案是，防尘膜包括边缘部和设置在边缘部中心位置的过滤网；边缘部固定在固定部上，过滤网悬设在通孔内。

此外，优选的技术方案是，定位部与支撑载体为一体成型结构或是不同材料构成。

根据本发明另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括如上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。

利用上述微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，在未设置防尘膜的边缘部上设置有自边缘部凸出的定位部，通过定位部与防尘膜一侧的基板接触定位，在支撑载体的显影处理以及热处理过程中，能够通过支撑载体隔离外界显影液，确保防尘膜与牺牲层之间的有效接触面积，避免防尘装置在处理过程中出现脱落或者翘曲的情况。