[发明专利]掩膜版干燥装置及其方法有效
| 申请号： | 202011401353.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112762695B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 王善鹤;孙田雨;何生权;阮玉帅;刘城住 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/12;F26B21/08;F26B3/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜版干燥装置及其方法，装置包括第一干燥组件，第一干燥组件包括第一干燥多孔层，第一干燥多孔层与掩膜版的第一表面相对设置，第一干燥多孔层用于输出并加热第一方向的风；第一方向为第一干燥多孔层指向第一表面的方向；第二干燥组件，第二干燥组件包括第二干燥多孔层，第二干燥多孔层与掩膜版的第二表面相对设置，第二干燥多孔层用于输出并加热第二方向的风；第二方向为第二干燥多孔层指向第二表面的方向；其中，第一表面为掩膜版的蒸镀面，第二表面为第一表面的相对面。本发明实施例提供的技术方案提高了干燥效果的稳定性，降低了运营成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 干燥 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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