[发明专利]研磨垫材料、研磨垫以及制备方法在审
| 申请号： | 202011397104.2 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114591482A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李善雄;杨涛;张月;田光辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | C08G18/66 | 分类号： | C08G18/66;C08G18/48;C08G18/32;B24D18/00;B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫材料，包括：以异氰酸酯、多元醇和用于增强延展性的功能材料为原料制备的具有多种化学链长度的聚酯。还提供一种研磨垫，包括：研磨层，采用研磨垫材料制成，以异氰酸酯、多元醇和用于增强延展性的功能材料为原料制备的具有多种化学链长度的聚酯。本发明的技术方案能够提高研磨垫的寿命，使研磨垫兼具较高的材料去除效率和较长的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
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