[发明专利]一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构在审
| 申请号： | 202011395819.4 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112530772A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 张凡凡;戴晓鹏;赫松龄;贺羽;张伟 | 申请（专利权）人： | 无锡量子感知研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，同时步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，涡轮能够带动旋转台旋转，这样就能够实现样品托的待观察样品随直线运动的同时也随旋转台一起旋转。总之，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构结构设计科学合理可靠，能实现两轴联动，能快速可靠定位样品台上的样品，换样方便快捷，能做到结构紧凑、体积小、装配方便，可应用于场发射等超高真空环境下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 电子显微镜 真空 运动 平台 联动 结构 | ||
【主权项】：
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