[发明专利]一种陶瓷悬梁式MEMS微热板及其制造方法在审
| 申请号： | 202011392988.2 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112408311A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 井华;谷文;陈红林 | 申请（专利权）人： | 苏州麦茂思传感技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H05B3/14;H05B3/18 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 侯慧娜 |
| 地址： | 215168 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种陶瓷悬梁式MEMS微热板及其制造方法。包括单晶硅衬底、陶瓷悬梁层、加热丝层、绝缘层和测试层。陶瓷悬梁层通过印刷、烘干、煅烧在单晶硅衬底上，加热丝层通过匀胶光刻技术定义其形状、在通过磁控溅射技术沉积在陶瓷悬梁层上，绝缘层通过PECVD(气相沉积法)沉积在加热丝层上，测试层通过匀胶光刻技术定义其形状、在通过磁控溅射技术沉积在陶瓷绝缘层上，单晶硅衬底背面刻穿成型形成刻穿部，使陶瓷悬梁层的陶瓷悬梁结构悬空成型。本发明采用具有更低导热系数和更坚硬的陶瓷材料作为MEMS微热板的悬梁结构，比传统的开隔热槽单晶硅悬梁微热板而言，隔热效果显著，整体结构更可靠，通过陶瓷悬梁有效能够降低自身功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 悬梁 mems 微热板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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