[发明专利]266nm固体激光器及其光束质量优化方法有效
申请号: | 202011391837.5 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN112510476B | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 陈彬彬;王家赞;江锐;任俊杰;刘广义 | 申请(专利权)人: | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
主分类号: | H01S3/109 | 分类号: | H01S3/109;H01S3/02;H01S3/07;H01S3/102 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种266nm固体激光器及其光束质量优化方法,其中266nm固体激光器包括第一倍频结构和第二倍频结构;第二倍频结构沿266nm固体激光器的激光出射光路设置于第一倍频结构之后,用于接收第一倍频结构形成的532nm激光束并将其转换为266nm的高功率紫外激光束;其中,第二倍频结构包括四倍频晶体组件,四倍频晶体组件由沿激光出射光路依次设置的第一BBO晶体、CLBO晶体和第二BBO晶体组合构成,用于对沿激光出射光路出射的532nm激光束进行倍频转换,以获取266nm的高功率紫外激光束。因此,基于本发明的266nm固体激光器,在保证266nm激光功率输出的情况下,使用BBO晶体和CLBO晶体两种非线性晶体级联的方式,提高了输出光束质量,同时还延长了晶体的使用寿命以及降低了激光器成本。 | ||
搜索关键词: | 266 nm 固体激光器 及其 光束 质量 优化 方法 | ||
【主权项】:
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