[发明专利]266nm固体激光器及其光束质量优化方法

权利要求书

1.一种266nm固体激光器，其特征在于，包括：

第一倍频结构，用于形成532nm激光束；

第二倍频结构，沿所述266nm固体激光器的激光出射光路设置于所述第一倍频结构之后，用于接收所述532nm激光束并将其转换为266nm的高功率紫外激光束；

其中，所述第二倍频结构包括：

四倍频晶体组件，由沿所述激光出射光路依次设置的第一BBO晶体、CLBO晶体和第二BBO晶体组合构成，用于对沿所述激光出射光路出射的532nm激光束进行倍频转换，以获取266nm的高功率紫外激光束，其中，所述第一BBO晶体、第二BBO晶体作为所述四倍频晶体组件的两端窗口片，用于密封所述四倍频晶体组件的CLBO晶体，构成非线性晶体级联结构。

2.根据权利要求1 所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述第一倍频结构包括沿激光出射光路依次设置的基频激光光源、二倍频晶体组件以及第一分光镜，其中：

所述基频激光光源发光方向朝向所述二倍频晶体组件设置，用于产生1064nm原始激光束；

二倍频晶体组件用于接收所述1064nm原始激光束，并将1064nm原始激光束进行倍频转换，产生具有1064nm和532nm的第一混合激光束，使得所述第一混合激光束入射至所述第一分光镜的入光面；

第一分光镜的入光面与所述第一混合激光束的入射方向之间具有第一入射角，所述第一分光镜的入光面镀有1064nm增反膜和532nm增透膜，所述第一分光镜的出光面镀设有532nm增透膜，用于反射所述第一混合激光束的1064nm激光束，同时透射所述第一混合激光束的532nm激光束，使得所述532nm激光束入射至所述第二倍频结构。

3.根据权利要求2所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述二倍频晶体组件包括：

二倍频晶体，沿所述激光出射光路设置于所述基频激光光源之后，以使得所述1064nm原始激光束入射至所述二倍频晶体的入光面上，并对其进行倍频转换以产生所述第一混合激光束；

开放恒温仓，为筒柱状结构，其轴心线与所述激光出射光路重合，并具有套设所述二倍频晶体的内部空间，用于为所述二倍频晶体提供恒温环境。

4.根据权利要求2所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述第一倍频结构还包括：

第一光束收集器，对应于所述第一分光镜的入光面设置于所述激光出射光路一侧，用于收集被所述第一分光镜反射的1064nm激光束。

5.根据权利要求1所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述四倍频晶体组件还包括：

密封恒温仓，为一筒柱状结构，其轴心线与所述激光出射光路重合，并具有套设所述CLBO晶体的内部空间，用于为所述CLBO晶体提供恒温密封环境。

6.根据权利要求5所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述密封恒温仓包括：

进光口，设置于朝向所述第一倍频结构的所述密封恒温仓的第一端面中心位置上，与所述第一BBO晶体的侧周匹配并密封设置；

出光口，设置于背向所述第一倍频结构的所述密封恒温仓的第二端面中心位置上，与所述第二BBO晶体的侧周匹配并密封设置；

出气口，设置于邻近所述进光口的所述第一端面上，用于将所述密封恒温仓的内部空间的保护气体引出所述密封恒温仓；

进气口，设置于邻近所述出光口的所述第二端面上，用于对所述密封恒温仓的内部空间引入保护气体。

7.根据权利要求6所述的266nm固体激光器，其特征在于，所述保护气体为惰性气体或氮气，用于在所述密封恒温仓的内部空间中保持干燥，且防止深紫外光束电离空气造成晶体损伤，同时避免影响光束质量。