[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制造方法和数字X射线探测器装置

摘要

薄膜晶体管阵列基板及其制造方法和数字X射线探测器装置。提供了一种能够使PIN二极管的泄漏电流最小化的用于数字X射线探测器装置的薄膜晶体管阵列基板和数字X射线探测器装置及其制造方法。泄漏电流阻挡层被形成为覆盖并接触PIN二极管的PIN层的侧表面，以阻止PIN层和绝缘层之间的接触，从而使PIN二极管的泄漏电流的产生最小化。此外，根据本公开，PIN二极管的泄漏电流的产生被最小化以提高读出线的检测功率，从而改善诸如检测量子效率(DQE)和信噪比(SNR)这样的特性并且改善数字X射线探测器装置的图像质量。