[发明专利]一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法有效
| 申请号： | 202011361225.1 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112414876B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王宁昌;赵延军;朱建辉;包华;师超钰;赵炯;牛俊凯 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N1/28;G01N1/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 程世芳 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 该快速检测衬底材料损伤层深度的方法，通过连续压痕试验测试衬底材料的弹性模量，然后与标准件的弹性模量对比就可得到衬底材料的亚表面损伤层深度，且连续刚度法测定一个样品弹性模量的时间不超过10分钟，具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于衬底材料不同加工流程中损伤层深度的快速检测，为优化衬底加工流程中下一道工序的加工时间有一定的指导意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 检测 衬底 材料 损伤 深度 方法 | ||
【主权项】：
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