[发明专利]一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法有效
| 申请号： | 202011361225.1 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112414876B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王宁昌;赵延军;朱建辉;包华;师超钰;赵炯;牛俊凯 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N1/28;G01N1/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 程世芳 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 检测 衬底 材料 损伤 深度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法，其特征在于，包括以下步骤：
a．选取衬底加工流程中任一加工工序的材料作为样品，通过切割的方式制作成待测样；
b．将切割后的待测样通过晶体胶固定在纳米力学测试平台的样品托上，并固化到最大强度；
c．将固定有待测样的样品托安装在纳米力学测试平台上；
d．使用连续刚度法对样品的弹性模量进行测试；
e. 使用与步骤d相同的连续刚度法对无损伤的样品，即标准件，进行弹性模量测试；
f. 对比两次弹性模量结果，二者弹性模量开始重合位置的压入深度即为衬底材料的损伤层深度。
2.根据权利要求1所述的一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法，其特征在于：在所述的步骤a中，样品的尺寸不大于样品托的尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法，其特征在于：在所述的步骤d中，连续刚度法依据国家标准GB/T22458-2008进行。
4.根据权利要求1所述的一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法，其特征在于：在所述的步骤c中，纳米力学测试平台的Z轴分辨率优于0.01nm。
5.根据权利要求1所述的一种快速检测衬底材料损伤层深度的方法，其特征在于：所述衬底材料为蓝宝石、单晶硅、碳化硅、砷化镓、氮化镓、碳酸锂、铌酸锂中的任一种。
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