[发明专利]激光掺杂选择性发射极太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种激光掺杂选择性发射极太阳能电池的制作方法，所涉及的制作方法在激光重掺杂步骤之后增加了第二次扩散步骤，如此在太阳能电池的轻掺杂区，第一次扩散步骤中所形成的PSG可以阻止第二次扩散步骤中的磷再次往硅片内部扩散；而在太阳能电池的重掺杂区，由于激光重掺杂步骤会破坏第一次扩散步骤中所形成的PSG，第二次扩散步骤中的磷可以继续往硅片内部扩散，如此相对现有技术能够在重掺杂区形成掺杂浓度更高的重掺杂，以使重掺杂区具有更好的欧姆接触，提升太阳能电池的填充因子；同时第二次扩散步骤还可以修复激光重掺杂时对硅片表面的损伤，进而提高太阳能电池的开路电压。