[发明专利]用于镀膜机的激光直接光控装置有效
| 申请号： | 202011354676.2 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112176309B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李鑫;王之琦;龚渤 | 申请（专利权）人： | 江苏永鼎光电子技术有限公司;江苏永鼎股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于镀膜机的激光直接光控装置，包括光源、信号接收器和工装部件，所述工装部件上设有至少两个成膜基座，所述两个成膜基座设置在以所述工装部件的中心为圆心的圆周上；至少一个所述成膜基座为监控基座，所述监控基座上设有至少一个监控基片；还包括遮挡部件，所述遮挡部件设置在所述监控基座靠近蒸发源的一侧，所述遮挡部件的厚度方向设有通孔，所述遮挡部件和监控基座转动配合，使得所有的所述监控基片均可以通过所述通孔暴露、且每次只有其中一个所述监控基片通过所述通孔暴露。本发明的用于镀膜机的激光直接光控装置，减小膜厚测量的累积公差，提高测量精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 激光 直接 光控 装置 | ||
【主权项】：
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