[发明专利]用于镀膜机的激光直接光控装置

权利要求书

1.一种用于镀膜机的激光直接光控装置，包括工装部件，其特征在于：所述工装部件上设有至少两个成膜基座，所述两个成膜基座设置在以所述工装部件的中心为圆心的圆周上；至少一个所述成膜基座为监控基座，所述监控基座上设有多个监控基片；

还包括遮挡部件，所述遮挡部件设置在所述监控基座靠近蒸发源的一侧，所述遮挡部件的厚度方向设有通孔，所述遮挡部件和监控基座转动配合，使得所有的所述监控基片均可以通过所述通孔暴露、且每次只有其中一个所述监控基片通过所述通孔暴露。

2.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述遮挡部件固定在所述监控基座靠近蒸发源的一侧，所述监控基座绕自己的中心转动。

3.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述监控基座固定在所述工装部件上，所述遮挡部件绕自己的中心转动。

4.如权利要求1~3任一项所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：还包括光源和信号接收器，所述光源和信号接收器分别设置在所述监控基座的相对两侧，所述信号接收器所含透镜的光轴与所述监控基座相垂直，所述光源位于所述信号接收器所含透镜的光轴上，且所述光源的光信号能够透过所述通孔投射至所述监控基片上。

5.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述工装部件绕自己的中心转动。

6.如权利要求5所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述工装部件的转动速度能够调节。

7.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述工装部件上设有六个所述成膜基座，所述六个成膜基座设置在以所述工装部件的中心为圆心的圆周上。

8.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：所述监控基座上设有六个所述监控基片，所述六个监控基片设置在以所述监控基座的中心为圆心的圆周上。

9.如权利要求1所述的用于镀膜机的激光直接光控装置，其特征在于：还包括辅正板，所述辅正板用于遮挡部分蒸发源。