[发明专利]一种透明柔性Micro-LED显示系统及其制备方法有效
| 申请号： | 202011350999.4 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112447509B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 郭婵;龚政;潘章旭;王建太;庞超;胡诗犇;刘久澄;龚岩芬;陈志涛 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L21/285 | 分类号： | H01L21/285;H01L27/15;G09F9/33;G09F9/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;王兰兰 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种透明柔性Micro‑LED显示系统，采用直立石墨烯作为互联电极。本发明采用直立石墨烯作为互联电极，提高互联电极应力作用下的稳定性与可靠性。同时，直立结构能充分利用石墨烯表面丰富的电子传输通道和散热通道，提高了纵向导电性能，减小器件工作电压。同时，本发明还公开一种所述透明柔性Micro‑LED显示系统的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 柔性 micro led 显示 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
