[发明专利]一种硅光窗硬质红外增透膜及制备方法在审
| 申请号： | 202011347733.4 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112596132A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王更;张鹏飞;陈志航;魏文东 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 |
| 主分类号： | G02B1/14 | 分类号： | G02B1/14;G02B1/115;C23C14/54;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/08 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 金凤 |
| 地址： | 471099 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅光窗硬质红外增透膜及制备方法，膜系结构为LHLHL|Sub|LHLHL，基底为Si基底，LHLHL为增透膜膜系，H为Ge膜层，L为SiO膜层。本发明膜系光学特性好，硬度高，高低温、盐雾、湿热环境下适应性强，光学性能稳定，无漂移，特别适应于恶劣环境下使用，通过该制备方法，在硅光窗表面镀制硬质增透膜，既保证了硅光窗的透过率，又提高了硅光窗的适应性，延长了硅光窗的使用寿命。采用本发明制备的硅光窗硬质红外增透膜在3.7～4.8μm波段的平均透射率大于98％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅光窗 硬质 红外 增透膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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