[发明专利]一种可隔离防护晶圆的晶圆处理装置

摘要

本发明公开了一种可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，包括用于对晶圆进行处理的处理装置和用于驱动晶圆下降以进入到处理装置工作处的升降装置，包括隔挡装置，隔挡装置与处理装置工作处对应的部位设置有上下贯通的开口，以使得升降装置能够驱动晶圆通过该开口在隔挡装置上侧与隔挡装置下侧的处理装置工作处之间来回运输，开口设置有封闭门。通过隔挡装置进行上下隔离，以在工作过程中，有效地阻止晶圆上掉落的液体落在隔挡装置下侧的处理装置或其它晶圆上，提高了加工环境的清洁度、进而提高晶圆成品率。当封闭门打开时，升降装置可以上下传输晶圆。所以能够有效地提高晶圆处理环境的清洁度，进而提高晶圆成品率。