[发明专利]一种金刚石陀螺谐振子纳米制造方法有效
| 申请号： | 202011316672.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112461263B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;刘冬冬;崔祥祥;冯坚强 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;B82Y40/00;C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金刚石陀螺谐振子纳米制造方法，属于难加工材料超精密加工领域。激光装置的激光脉冲频率在1‑500kHz可调，脉冲宽度在5‑300ps可调，激光斑点直径在5‑40μm可调，功率在0‑100W可调，可同时实现粗加工和精加工；纳米移动平台装置，能够实现X，Y，Z三坐标轴的移动和绕Z轴的转动，移动精度小于10nm，转动精度小于0.02°；原位在线检测装置利用激光干涉仪对加工质量进行原位检测；镀膜装置采用离子镀；聚焦离子束装置，加速电压在2‑30kV可调，电流在20pA‑50nA可调；本发明提供一种金刚石超硬材料复杂结构的纳米制造方法，实现金刚石陀螺谐振子纳米级精度制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 陀螺 谐振子 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
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