[发明专利]一种金刚石陀螺谐振子纳米制造方法有效
| 申请号： | 202011316672.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112461263B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;刘冬冬;崔祥祥;冯坚强 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;B82Y40/00;C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 陀螺 谐振子 纳米 制造 方法 | ||
1.一种金刚石陀螺谐振子纳米制造方法，通过样品台旋转和移动，利用激光束对样品表面进行扫描，加工出沟槽阵列，利用磁控溅射法在沟槽内镀一层金属膜，利用聚焦离子束对沟槽进行粗修和精修，实现金刚石陀螺谐振子纳米级精度制造，其特征在于：
(1)样品为金刚石片，边长为8-10mm，厚度为0.1-0.5mm；
(2)激光束为皮秒激光，脉冲宽度为100-300ps；
(3)将样品放入酒精中超声清洗5-10min，利用压缩空气将样品吹干；
(4)将厚度为20-60μm的聚酰亚胺胶带粘在样品表面，将样品水平固定在工作台上，并调整工作台高度，使样品待加工表面处于激光束焦平面上，以样品几何中心为加工中心原点；
(5)打开激光束及氮气辅助气体，使激光束在样品表面进行扫描，加工出宽度为30-50μm，长度为30-50μm的垂直通孔槽；
(6)将样品台沿中心旋转360/n度，n＝10-20，重复步骤(5)；
(7)重复步骤(6)n-1次；
(8)将样品台沿X轴方向移动20-60μm，重复步骤(5)-(7)，加工垂直通孔槽；
(9)重复步骤(8)；
(10)将样品取出放入酒精中，超声清洗5-10min，利用压缩空气将样品吹干；
(11)利用磁控溅射法将样品镀一层金属膜，使沟槽区域金属膜厚度为10-20nm；
(12)利用聚焦离子束对沟槽进行粗修，离子束束流为30kV，50-120pA；
(13)利用聚焦离子束对沟槽进行精修，离子束束流为5kV，20-50pA；
(14)去掉样品表面的聚酰亚胺胶带，将样品放入酒精中超声清洗5-10min。
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