[发明专利]图像传感器及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202011311614.3 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112331684A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 胡欢;陈世杰;张斌 申请(专利权)人: 联合微电子中心有限责任公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 武振华;张振军
地址: 401332 重庆*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 一种图像传感器及其形成方法,所述图像传感器包括:半导体衬底,所述半导体衬底内形成有逻辑器件;金属互连层,位于所述半导体衬底的表面,所述金属互连层内具有金属互连结构;多层堆叠的感光元件层,位于所述金属互连层的表面,每层感光元件层中包含多个感光元件,不同的感光元件经由所述金属互连结构电连接至不同的逻辑器件;其中,每个感光元件包括堆叠的第一透明电极层、PIN二极管、第二透明电极层。本发明可以不依赖于光电二极管、滤光片、有机光敏薄膜等材料,即可实现光电转换功能且对光生载流子进行收集,有助于降低生产成本,减少工艺复杂度。
搜索关键词: 图像传感器 及其 形成 方法
【主权项】:
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