[发明专利]一种百千伏超快电子衍射装置在审

专利信息
申请号: 202011281330.4 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112485276A 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 李玉同;李梦超;王瑄 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: G01N23/20058 分类号: G01N23/20058;G01N23/20008;G01N23/20025
代理公司: 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 代理人: 刘丹妮;姚望舒
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种灵活紧凑型百千伏超快电子衍射装置,包括电子枪本体,所述电子枪本体包括电子枪腔室及内部的直流光阴极电子枪本体、磁透镜、样品室、泵浦光背入射单元、法拉第筒腔室和成像装置,所述样品室侧面固定安装有样品位移台,所述样品位移台内部固定设置有样品固定装置,所述样品室底部固定设置有钛升华泵、离子泵、分子泵和真空测量装置。该灵活紧凑型百千伏超快电子衍射装置,通过采用直流光阴极电子枪本体,样品架灵活多功能,使整套装置可进行多种实验探测,样品架可拆卸更换,一些需要在电子枪本体与样品室之间串接的装置可以连接在样品杆上,降低了系统的复杂程度,进一步缩短了阴极距样品距离。
搜索关键词: 一种 千伏 电子衍射 装置
【主权项】:
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