[发明专利]薄膜表声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202011280224.4 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114513180A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 刘亭 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜表声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜表声波谐振器包括：具有多个第一叉指的第一叉指电极、具有多个第二叉指的第二叉指电极，第一叉指与第二叉指间隔设置；第一连接线，至少位于第一叉指的其中一端，与第一叉指电连接；第二连接线，至少位于第二叉指的其中一端，与第二叉指电连接；第一连接线与第一叉指之间具有第一间隙，第一连接线与第一叉指通过跨越第一间隙的第一互连电极连接；和/或，第二连接线与第二叉指之间具有第二间隙，第二连接线与第二叉指通过跨越第二间隙的第二互连电极连接。本发明将叉指与相应连接线通过相应间隙隔开，以降低叉指之外的金属结构对叉指的振动阻碍，同时避免对叉指端部的表面声波造成扰动。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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