[发明专利]薄膜表声波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜表声波谐振器，其特征在于，包括：

具有多个第一叉指的第一叉指电极、具有多个第二叉指的第二叉指电极，所述第一叉指与所述第二叉指间隔设置；

第一连接线，至少位于所述第一叉指的其中一端，与所述第一叉指电连接；

第二连接线，至少位于所述第二叉指的其中一端，与所述第二叉指电连接；

所述第一连接线与所述第一叉指之间具有第一间隙，所述第一连接线与所述第一叉指通过跨越第一间隙的第一互连电极连接；

和/或，

所述第二连接线与所述第二叉指之间具有第二间隙，所述第二连接线与所述第二叉指通过跨越第二间隙的第二互连电极连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述第一叉指的两端分别设有所述第一连接线，所述第一叉指的一端通过所述第一互连电极与所述一端的第一连接线电连接，或者，所述第一叉指的一端与所述第一连接线伪互连，或者，所述第一叉指的一端与第一连接线接触电连接。

3.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述第二叉指的两端分别设有所述第二连接线，所述第二叉指的一端通过所述第二互连电极与所述一端的第二连接线电连接，或者，所述第二叉指的一端与所述第二连接线通过所述第二互连电极伪互连，或者，所述第二叉指的一端与第二连接线接触电连接。

4.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述第一互连电极包括远离所述第一间隙凸起的第一拱形桥结构，所述第一拱形桥结构内表面围成第一空隙，所述第一空隙与所述第一间隙相对；

和/或，

所述第二互连电极包括远离所述第二间隙凸起的第二拱形桥结构，所述第二形桥结构内表面围成第二空隙，所述第二空隙与所述第二间隙相对。

5.根据权利要求4所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述第一拱形桥结构至少包括一子拱桥，相邻子拱桥之间连接部位下方设置支撑结构；

和/或，

所述第二拱形桥结构至少包括一子拱桥，相邻子拱桥之间连接部位下方设置支撑结构。

6.根据权利要求5所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述支撑结构将相应间隙分隔为至少两个相邻的子间隙，所述子拱桥内表面围成空隙，所述空隙与所述子间隙一一相对。

7.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，与所述第一叉指电连接的第一连接线、与所述第二叉指电连接的第二连接线位于同一侧或不同侧。

8.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，位于同一侧的第一连接线、第二连接线，其中之一位于另一的外侧，位于内侧的连接线穿过外侧的连接线与相应的叉指之间的间隙；

位于外侧的连接线与相应的叉指连接的互连电极包括第一子拱桥和第二子拱桥，所述第一子拱桥和所述第二子拱桥相邻部位下方设支撑结构，所述第二子拱桥位于外侧且横跨内侧的支撑结构与外侧的连接线连接。

9.根据权利要求1所述的薄膜表声波谐振器，其特征在于，所述第一叉指的两端分别设有所述第一连接线，所述第二叉指的两端分别设有所述第二连接线，位于第一同侧的所述第一连接线设置于所述第二连接线的内侧，位于第二同侧的所述第一连接线设置于所述第二连接线的外侧。