[发明专利]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手在审
| 申请号： | 202011259388.9 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112410748A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;陸创程;陈思;李运俊;冯晓庭 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑;何秋林 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；所述运动组件包括运动组件支架，还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承，其自身结构可驱动其夹紧块上升或下降，从而夹紧或松开挂板。本发明机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大型 真空镀膜 机工 件挂板 传送 机械手 | ||
【主权项】：
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