[发明专利]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手

说明书

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；所述运动组件包括运动组件支架，还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承，其自身结构可驱动其夹紧块上升或下降，从而夹紧或松开挂板。本发明机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。

技术领域

本发明涉及大型真空镀膜机内，特别是多舱配置的大型真空镀膜机内，负责完成大型工件挂板自动传送任务的一种机械手。

背景技术

真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。为提高产能和效率，设备设计越来越大，装载量越来越多，单个工件挂具(多个工件挂装在挂具上一起完成镀膜)也越大越重；为提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是每炉镀膜包括装卸工件都在真空中进行不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。因此，近年来真空镀膜设备发展方面，一方面大型化，一方面是多舱化。

多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与进料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从进料舱送入工艺舱(镀膜工艺舱室的简称)，镀膜工艺完成后，再在真空状态下把工件移出到出料舱。设备的大型化，使装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空状态下传送转舱，必须靠机械手完成。

为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，研制真空机械手是当务之急。因为真空镀膜机的镀膜工件材质、大小、形状各异，所用工件挂具的大小、形状、数量也不同，另外，不同型号真空镀膜机的预备舱(主要指进料仓和出料仓)、过渡舱(用于连通进、出料仓与工艺舱)和工艺舱的设计也会不同，与之适应的挂具的传送方式也会有不同，因此机械手的动作和功能不尽相同，故机械手的设计五花八样。对于炉内可挂二十多块大尺寸、重量重的矩形平板式挂具(挂具尺寸300mmx1500mmx35mm，挂满工件时，重40kg左右)的大型真空镀膜设备，目前还没有能完成工件挂板自动传送任务的机械手。

发明内容

本发明的发明目的是，提供一种用于大型多舱室真空镀膜机内大型挂板传送的机械手。

本发明的发明目的通过如下技术方案实现：一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；

所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；

所述运动组件包括运动组件支架，其搭载着整个运动组件，其包括连为一体的支架底板、支架上板和两侧板，所述运动组件还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承；