[发明专利]一种化学液处理回收装置在审
| 申请号： | 202011248895.2 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112495028A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 徐权锋 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/50 | 分类号： | B01D29/50;B01D29/03;B01D29/01;B01D29/56 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理器相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管与第二容器相通，本发明的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 处理 回收 装置 | ||
【主权项】：
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