[发明专利]晶圆表面干燥吹扫设备

摘要

晶圆表面干燥吹扫设备，包括机架、干燥架、氮气供应装置、清洗箱以及夹持块，所述机架内置工作空腔，工作空腔前端设置密封门，所述机架顶端设置驱动电机，所述驱动电机输出端设置旋转杆，所述旋转杆远离驱动电机一端穿过机架侧壁伸入工作空腔内，所述旋转杆远离驱动电机一端设置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右两侧内壁设置第一液压杆，干燥架上下两侧侧壁设置第二液压杆，所述第一液压杆以及第二液压杆输出端设置夹持块，所述夹持块远离干燥架侧壁一端设置凹槽，所述工作空腔左侧底端设置氮气供应装置，所述工作空腔位于干燥架左侧设置氮气喷嘴，所述氮气供应装置输出端与氮气喷嘴之间设置输送管道。