[发明专利]阵列基板及其制备方法在审
申请号: | 202011247307.3 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN112415799A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 刘煌正 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G03F7/09;C23F1/26;C23F1/02 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 高杨丽 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板及其制备方法,该制备方法包括:沿垂直于玻璃基板的方向,在所述玻璃基板上依次铺设隔离层、金属层和光阻膜层;对所述光阻膜层进行曝光显影处理;对所述隔离层和所述金属层进行初蚀刻处理;对所述金属层进行二次蚀刻处理,使得沿所述玻璃基板的平面方向,所述隔离层的外周与所述金属层的外周之间的间距为0.1‑0.8μm;去除所述光阻膜层。本发明的制备方法简单,所制备得到的阵列基板在应用过程中,能够显著改善液晶面板的暗态漏光现象,提升产品对比度。 | ||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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