[发明专利]一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒在审
申请号: | 202011225258.3 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN112337230A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 何文胜 | 申请(专利权)人: | 何文胜 |
主分类号: | B01D46/42 | 分类号: | B01D46/42;B01D46/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒,包括套筒主体,所述套筒主体的左右两侧均固定连接有固定件,固定件的内侧固定连接有滤风管,滤风管的中部活动连接有滤网,滤网的左右两侧均固定连接有风动管,风动管的内侧活动连接有挡风板。该半导体生产用自动弹出滤网的自提醒套筒,通过气压挤压空气弹簧运动,进而使空气弹簧挤压挤压块运动,从而使连杆在活动导轨的配合下开始向顶部移动,进而使滤网被弹出,空气弹簧挤压挤压块运动,也会使催动仓内部产生气流,从而使风动球和发声机构在气流的配合下发声,进而使滤网可以自动弹出并及时提醒,进而提高了更换的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 生产 自动 弹出 滤网 提醒 套筒 | ||
【主权项】:
暂无信息
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