[发明专利]硅溶胶在微电子领域的应用在审
| 申请号： | 202011220164.7 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112340739A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 王辰伟;刘玉岭;罗翀;周建伟;高宝红;王如 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学;天津晶岭微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/14 | 分类号： | C01B33/14;B01D61/18;B01D61/20;B65B1/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 肖莉丽 |
| 地址： | 300130 天津市红桥*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅溶胶在微电子领域的应用，而提供一种新型硅溶胶在微电子领域的应用。本发明的硅溶胶在微电子领域的应用，所述硅溶胶由湖北金伟新材料有限公司生产，所述硅溶胶中的原料为澳砂，所述硅溶胶在封闭式全自动条件下生产；在千级无尘条件下灌装及包装；采用0.2微米过滤系统过滤。本发明通过对湖北金伟新材料有限公司所生产的硅溶胶的改进，使其生产的硅溶胶的各方面性能满足微电子领域的使用需要，为国内硅溶胶广泛应用于微电子领域开辟了新途径。本发明精选原材料质量，所使用原材料为进口澳砂，从源头降低产品金属离子含量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅溶胶 微电子 领域 应用 | ||
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- 本发明公开了一种环保型硅酸精制装置，包括盐酸罐，所述盐酸罐通过盐酸进管连接有精制罐，所述精制罐通过盐酸输出管连接有氯型阴离子交换柱，所述氯型阴离子交换柱分别连接有纯水清洗进管和纯水清洗出管，所述精制罐还连接有纯水进管，工业细孔硅胶中金属盐通过盐酸的流动浸泡以金属盐的络阴离子进入溶液中，从而使硅胶得以精制，金属盐的络阴离子盐酸溶液经氯型阴树脂交换后得以再生成盐酸溶液，含金属盐的阴树脂经纯水流动清洗后再生，制备效率高，效果好，节能环保，能够实现资源的重复利用，制备原理简单，值得推广。
- 一种水玻璃制备超大粒径高浓度硅溶胶的方法-202010661159.3
- 李彦东;林厦涛;叶海峰;皮艳;陈昌貌 - 阳江市惠尔特新材料科技有限公司
- 2020-07-10 - 2021-03-30 - C01B33/14
- 本发明提供一种由水玻璃制备超大粒径高浓度硅溶胶的方法，在常规的胶粒制备方法基础上，通过添加非离子型氟碳表面活性剂提高了胶粒表面的结晶活性，再经多次胶粒增长提高了大粒径胶粒的硅酸聚合速度，增大胶粒粒径，通过常压或减压恒液位蒸发或超滤浓缩工艺进行浓缩，制得超大粒径高浓度的硅溶胶，所述硅溶胶具有良好的抛光质量，可以用于超大规模集成电路全局平坦化化学机械抛光(CMP)技术中。
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