[发明专利]硅片生产控制方法、电子设备和计算机可读存储介质在审
申请号: | 202011211356.1 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN112527586A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 周坤;李世鑫 | 申请(专利权)人: | 特劢丝软件科技(上海)有限公司 |
主分类号: | G06F11/26 | 分类号: | G06F11/26;G06F11/36 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 201103 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例涉及硅片制造领域,公开了一种硅片生产控制方法、电子设备和计算机可读存储介质。上述硅片生产控制方法包括:获取待处理硅片上的晶圆体的测试信息;根据所述测试信息,确定所述待处理硅片的良率;根据所述良率和预设的N个良率区间,确定所述待处理硅片所属的良率区间;其中,N是大于2的整数;根据所述待处理硅片所属的良率区间,对所述待处理硅片进行与所述所属的良率区间相对应的处理。本发明实施例提供的硅片生产控制方法,可以改善硅片生产一刀切的情况,对硅片的生产过程进行精细化管理,从而缩短硅片生产周期,提高硅片的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 硅片 生产 控制 方法 电子设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】:
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