[发明专利]一种复合量程石英谐振加速度传感器有效
| 申请号： | 202011205643.1 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112379126B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;蔡辉;韩超;李村;李波 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;中国人民解放军96901部队31分队 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种复合量程石英谐振加速度传感器，由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成，大小量程加速度计为相似结构，整体结构成中心对称布局，由一石英片贯穿腐蚀加工而成；大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁和敏感质量块，敏感质量块受到加速度作用产生的惯性力传递到柔性杠杆上，经过柔性杠杆放大作用传递到应力分配梁上，应力分配梁把惯性力先集中然后再均分到石英音叉的两根振梁上；根据被测量的大小启动大小量程加速度计，一端的石英音叉受到的力为拉应力，频率升高，另一端受到压应力，频率降低，两者的频率差与加速度的大小成正比，通过测量频率差获得加速度的大小；具有测量量程大、精度高、体积小等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 量程 石英 谐振 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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