[发明专利]测漏装置有效
| 申请号： | 202011181217.9 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114427941B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 何家平;古进忠 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种测漏装置，包括：测试平台，测试平台用于承载放置待测漏的研磨头，且研磨头可以分为一个或者多个独立的分区，每一分区对应具有一个腔室，每一腔室对应具有通气孔；上盖，用于密封腔室，且上盖位于腔室远离测试平台的一侧；可动装置，可动装置在平行于测试平台的表面上可移动，且在垂直于测试平台的方向上可移动，还适于向上盖施加压力，以使上盖密封腔室。本发明实施例通过可动装置对上盖施加压力，有利于对上盖施加均匀的压力和降低操作人员的时间成本，有利于提高测漏装置测漏结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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