[发明专利]声波换能单元及其制备方法和声波换能器有效
| 申请号： | 202011174025.5 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112427282B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 孙拓 | 申请（专利权）人： | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 吴俣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种声波换能单元，包括：衬底基板、第一电极、支撑图形、振膜图形和第二电极，第一电极位于衬底基板上，支撑图形位于第一电极远离衬底基板的一侧且围成有振动腔，振膜图形位于支撑图形远离第一电极的一侧且能够在振动腔内振动，第二电极位于振膜图形远离第一电极的一侧且与第一电极相对设置；还包括：第一介质图形和/或第二介质图形，第一介质图形位于振动腔的底部，且在由第一介质图形的中心指向边缘的方向上第一介质图形的厚度逐渐增大；第二介质图形位于振动腔的顶部，且在由第二介质图形的中心指向边缘的方向上第二介质图形的厚度逐渐增大。本公开还提供了一种声波换能单元的制备方法和声波换能器。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 单元 及其 制备 方法 换能器 | ||
【主权项】：
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