[发明专利]声波换能单元及其制备方法和声波换能器

权利要求书

1.一种声波换能单元，包括：衬底基板、第一电极、支撑图形、振膜图形和第二电极，所述第一电极位于所述衬底基板上，所述支撑图形位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧且围成有振动腔，振膜图形位于所述支撑图形远离所述第一电极的一侧且能够在所述振动腔内振动，所述第二电极位于所述振膜图形远离所述第一电极的一侧且与所述第一电极相对设置；

其特征在于，还包括：

第一介质图形，位于所述振动腔的底部，且在由所述第一介质图形的中心指向边缘的方向上所述第一介质图形的厚度逐渐增大；

和/或，第二介质图形，位于所述振动腔的顶部，且在由所述第二介质图形的中心指向边缘的方向上所述第二介质图形的厚度逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的声波换能单元，其特征在于，还包括：

刻蚀阻挡层，位于所述第一电极与所述支撑图形之间。

3.根据权利要求2所述的声波换能单元，其特征在于，当所述声波换能单元包括有所述第一介质图形时，所述第一介质图形的材料与所述刻蚀阻挡层的材料相同。

4.根据权利要求1所述的声波换能单元，其特征在于，当所述声波换能单元包括有所述第二介质图形时，所述第二介质图形的材料与所述振膜图形的材料相同。

5.根据权利要求4所述的声波换能单元，其特征在于，所述第二介质图形与振膜图形相连且两者一体成型。

6.根据权利要求1所述的声波换能单元，其特征在于，当所述声波换能单元包括有所述第一介质图形时，所述第一介质图形靠近所述第一电极的一侧表面为与所述衬底基板所处平面相平行的平面，所述第一介质图形远离所述第一电极的一侧表面为与所述第一介质图形靠近所述第一电极的一侧表面相交的斜坡面，且坡度角范围包括：(0°，15°]；

当所述声波换能单元包括有所述第二介质图形时，所述第二介质图形靠近所述振膜图形的一侧表面为与所述衬底基板所处平面相平行的平面，所述第二介质图形远离所述振膜图形的一侧表面为与所述第二介质图形靠近所述振膜图形的一侧表面相交的斜坡面，且坡度角范围包括：(0°，15°]。

7.一种声波换能器，其特征在于，包括：如上述权利要求1-6中任一所述的声波换能单元。

8.一种如权利要求1-6中任一所述声波换能单元的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底基板上形成第一电极；

在第一电极远离所述衬底基板的一侧形成支撑图形和振膜图形，所述支撑图形位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧且围成有振动腔，振膜图形位于所述支撑图形远离所述第一电极的一侧且能够在所述振动腔内振动；

在所述振膜图形远离所述第一电极的一侧形成第二电极，所述第二电极与所述第一电极相对设置；

其特征在于，在形成第一电极的步骤与形成支撑图形和振膜图形的步骤之间还包括：

在第一电极远离所述衬底基板的一侧形成第一介质图形，所述第一介质图形位于后续待形成的振膜图形所围成振动腔的区域，且在由所述第一介质图形的中心指向边缘的方向上所述第一介质图形的厚度逐渐增大；

和/或，在形成支撑图形和振膜图形的步骤的同时，还包括：

形成第二介质图形，所述第二介质图形位于所述振动腔的顶部，且在由所述第二介质图形的中心指向边缘的方向上所述第二介质图形的厚度逐渐增大。