[发明专利]惯性传感器、电子设备和移动体在审
| 申请号： | 202011171154.9 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112748257A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 伊藤郁哉 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供惯性传感器、电子设备和移动体。惯性传感器具有设置有惯性传感器元件的第1基板和第2基板。所述第1基板俯视时具有：与所述第2基板接合的第1区域；位于所述第1区域的外侧且与所述第2基板非接合的第2区域；以及位于所述第2区域的外侧且与所述第2基板非接合的第3区域。所述第2区域中的所述第1基板具有比所述第3区域中的所述第1基板的厚度薄的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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