[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202011133757.X | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114389555A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;李葱葱;徐洋;梁兴宇;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H3/02;H03H9/17;H03H9/46;H03H9/48;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：底电极和/或顶电极的表面粗糙度Rq0.5nm；和/或在平行于谐振器的厚度方向的一个截面中，底电极和/或顶电极的与压电层接触的表面上的最高点与最低点之间在所述厚度方向上的距离小于5nm。本发明还涉及一种体声波谐振器的制作方法，所述谐振器包括基底，声学镜，底电极，压电层和顶电极，所述方法包括步骤：以沉积功率范围大于1KW的条件制备顶电极和/或底电极的全部或部分电极膜层。本发明也涉及一种滤波器和一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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