[发明专利]一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机在审

专利信息
申请号: 202011130545.6 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN112342518A 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 渠艳良;李雷 申请(专利权)人: 派珂纳米科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 代理人: 范圆圆
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机,包括镀膜室以及转动安装在镀膜室内的镀膜腔;镀膜室的侧壁上连接有抽真空管,镀膜室的一端设有进气口,另一端安装有外端盖,外端盖上安装有旋转电机;镀膜腔内插接安装有多个物料杆,镀膜腔的一端设有与进气口对应的进气孔,另一端安装有内端盖,内端盖靠近外端盖的一侧固定有转动轴;将磁环套设在物料杆上并将物料杆插接安装在镀膜腔内,闭合内端盖和外端盖即可使旋转电机和转动轴接合,从而利用旋转电机驱动镀膜腔旋转镀膜,结构简单,操作方便的同时还能一次性对磁环进行全方位镀膜,有效提高了磁环的镀膜效率。
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 卧式 真空镀膜
【主权项】:
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