[发明专利]一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机

权利要求书

1.一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：包括横向固定在工作台上的镀膜室以及转动安装在镀膜室内的镀膜腔；所述镀膜室的侧壁上连接有抽真空管，镀膜室的一端设有进气口，镀膜室的另一端安装有可拆卸的外端盖；所述外端盖上安装有用于驱动所述镀膜腔旋转镀膜的旋转电机；

所述镀膜腔内插接安装有多个可拆卸的物料杆，镀膜腔靠近所述进气口的一端设有对应的进气孔，镀膜腔的另一端安装有可拆卸的内端盖；所述内端盖靠近所述外端盖的一侧固定有转动轴；所述内端盖和所述外端盖闭合时，所述旋转电机的输出轴与所述转动轴接合。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述外端盖上固定有磁流体密封件，所述磁流体密封件的一端通过传动齿轮与所述旋转电机的输出轴固定连接，磁流体密封件的另一端则通过花键与所述转动轴插接配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜腔的两端设有用于支撑镀膜腔的凸边，所述凸边的外径与所述镀膜室的内径相匹配；所述镀膜室的内壁上设有与所述凸边卡合的圆形滑轨。

4.根据权利要求3所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜室内壁的底部安装有多个支撑滚珠，所述支撑滚珠与所述镀膜腔的外侧壁抵接。

5.根据权利要求1所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述外端盖通过锁紧卡扣与所述镀膜室可拆卸连接；所述内端盖通过螺栓与所述镀膜腔可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述物料杆上设有用于防粘连的螺纹凸起。

7.根据权利要求1所述的一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜室的侧壁上连接有用于测量真空度的真空规管。