[发明专利]一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机在审

专利信息
申请号: 202011130545.6 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN112342518A 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 渠艳良;李雷 申请(专利权)人: 派珂纳米科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 代理人: 范圆圆
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 卧式 真空镀膜
【说明书】:

发明提供了一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机,包括镀膜室以及转动安装在镀膜室内的镀膜腔;镀膜室的侧壁上连接有抽真空管,镀膜室的一端设有进气口,另一端安装有外端盖,外端盖上安装有旋转电机;镀膜腔内插接安装有多个物料杆,镀膜腔的一端设有与进气口对应的进气孔,另一端安装有内端盖,内端盖靠近外端盖的一侧固定有转动轴;将磁环套设在物料杆上并将物料杆插接安装在镀膜腔内,闭合内端盖和外端盖即可使旋转电机和转动轴接合,从而利用旋转电机驱动镀膜腔旋转镀膜,结构简单,操作方便的同时还能一次性对磁环进行全方位镀膜,有效提高了磁环的镀膜效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域,具体涉及一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜技术是一种材料合成与加工的新技术,利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等优越性能,从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源等作用。

现有技术中,在对磁环进行镀膜时,通常将磁环放置在立式镀膜机的镀膜架上,每次只能对磁环的一面进行镀膜,需要等待工件冷却至可触摸温度,再进行人工翻片后才能进行另一面的镀膜加工,生产效率低、劳动强度高。

发明内容

针对上述技术问题,本发明提供了一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机。

一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机,包括横向固定在工作台上的镀膜室以及转动安装在镀膜室内的镀膜腔;所述镀膜室的侧壁上连接有抽真空管,镀膜室的一端设有进气口,镀膜室的另一端安装有可拆卸的外端盖;所述外端盖上安装有用于驱动所述镀膜腔旋转镀膜的旋转电机;

所述镀膜腔内插接安装有多个可拆卸的物料杆,镀膜腔靠近所述进气口的一端设有对应的进气孔,镀膜腔的另一端安装有可拆卸的内端盖;所述内端盖靠近所述外端盖的一侧固定有转动轴;所述内端盖和所述外端盖闭合时,所述旋转电机的输出轴与所述转动轴接合。

优选的,所述外端盖上固定有磁流体密封件,所述磁流体密封件的一端通过传动齿轮与所述旋转电机的输出轴固定连接,磁流体密封件的另一端则通过花键与所述转动轴插接配合。

优选的,所述镀膜腔的两端设有用于支撑镀膜腔的凸边,所述凸边的外径与所述镀膜室的内径相匹配;所述镀膜室的内壁上设有与所述凸边卡合的圆形滑轨。

优选的,所述镀膜室内壁的底部安装有多个支撑滚珠,所述支撑滚珠与所述镀膜腔的外侧壁抵接。

优选的,所述外端盖通过锁紧卡扣与所述镀膜室可拆卸连接;所述内端盖通过螺栓与所述镀膜腔可拆卸连接。

优选的,所述物料杆上设有用于防粘连的螺纹凸起。

优选的,所述镀膜室的侧壁上连接有用于测量真空度的真空规管。

本发明的有益效果是:利用卧式镀膜室对磁环进行镀膜,镀膜时,直接将磁环套设在物料杆上,在将物料杆插接安装在镀膜腔内之后,闭合内端盖和外端盖,即可使旋转电机和内端盖的转动轴接合,从而利用旋转电机驱动镀膜腔旋转镀膜,结构简单,操作方便的同时还能一次性对磁环进行全方位镀膜,有效提高了磁环的镀膜效率。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明实施例的整体结构示意图;

图2为本发明实施例中镀膜室的剖视图;

图中数字表示:

1、工作台 2、镀膜室 3、镀膜腔 4、圆形滑轨 5、支撑滚珠 6、抽真空管 7、真空规管 8、进气口 9、外端盖 10、锁紧卡扣 11、磁流体密封件 12、旋转电机 13、传动齿轮 14、物料杆 15、内端盖 16、转动轴。

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