[发明专利]双轴石英微机械陀螺仪有效
申请号: | 202011125854.4 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN114383591B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 魏景辉;韩雪飞;汤一;孙正富;张永斌;廖兴才;张祐齐;武东;要彦清 | 申请(专利权)人: | 北京晨晶电子有限公司 |
主分类号: | G01C19/5783 | 分类号: | G01C19/5783 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 吴欢燕 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及微机械陀螺仪技术领域,提供了一种双轴石英微机械陀螺仪。该双轴石英微机械陀螺仪,包括第一陀螺法兰、第一减振体、第一石英微机械表芯、第二陀螺法兰、第二减振体和第二石英微机械表芯,所述第一减振体设于所述第一陀螺法兰内,所述第一石英微机械表芯设于所述第一减振体内,所述第二减振体设于所述第二陀螺法兰内,所述第二石英微机械表芯设于所述第二减振体内,所述第一陀螺法兰的第一端与所述第二陀螺法兰的第一端连接,所述第一减振体与所述第二减振体正交垂直设置。本发明实现分别对第一石英微机表芯和第二石英微机表芯的轴向减振效果,提高减振性能。 | ||
搜索关键词: | 石英 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】:
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